光刻

三维(3-D)纳米结构材料-那些具有复杂形状的材料，大小为十亿分之一米-可以无电阻导电，可以用于一系列量子设备。例如，这种三维超导纳米结构可以应用于信号放大器，以提高量子计算机和用于医学成像和地下地质测绘的超灵敏磁场传感器的速度和精度。然而，传统的制造工具，如光刻技术，已经局限于一维和二维纳米结构，如超导导线和薄膜。......